Tube furnace

Nimi ja malli: Nabertherm R 50/500/12

Yhteyshenkilö: Vesa-Pekka Lehto

Valmistusvuosi: 2009

Asennusvuosi: 2009

Laitteen yleiskuvaus: Tube furnace for surface modification of silicon. Can be used for thermal hydrocarbonization, thermal carbonization and thermal oxidation.

Käyttö: Surface modification of (porous) silicon
Annealing of porous silicon

Tärkeimmät ominaisuudet ja lisävarusteet: Quartz tube

Tärkeimmät spesifikaatiot: Tube size Inner diameter, 34 mm, length 500, 400 and 300 mm
Heated length 500 mm
Installed gasses nitrogen, acetylene
Max temperature 1200 °C

Valokuva:

Sijainti: University of Eastern Finland, Department of Physics and Mathematics, Yliopistonranta 1 F (Melania), 70211 Kuopio

Kaupunki: Kuopio