TOF-ERDA spectrometer

Nimi ja malli:

Yhteyshenkilö: Timo Sajavaara
timo.sajavaara(at)jyu.fi

Valmistusvuosi: 2009

Asennusvuosi: 2009

Laitteen yleiskuvaus: A unique and powerful tool for elemental depth profiling of thin films.

Käyttö: A heavy ion beam from Pelletron accelerator is guided to the sample to be studied. The velocity (TOF) and energy are measured in coincidence for forward scattered sample atoms and incident ions.

Tärkeimmät ominaisuudet ja lisävarusteet: With TOF-ERDA spectrometer all sample atoms can be detected and used in quantitative depth profiling.

Tärkeimmät spesifikaatiot:

• Quantitative analysis of all elements possible (including hydrogen)
• Film thicknesses from 5 nm to 500 nm
• Depth resolution even 1-2 nm at the surface
• Sensitivity: down to 0.1 at.% or better

Valokuva:

Sijainti: Pelletron facility at the Accelerator Laboratory

Kaupunki: Jyväskylä